一、采购人：松山湖材料实验室

二、采购项目编号：441900-201811-0099990033-0004

三、采购项目名称：大尺寸单晶CVD生长系统

四、采购项目预算金额（元）：2,500,000.00元

五、拟采购的货物或者服务的说明

一、大尺寸单晶CVD生长系统的技术要求

1.   ★计算机自动控制，系统内置大尺寸二维轻元素单晶的生长参数

2.   生长温度范围：室温～1100℃

3.   控温精度：+/-1℃

4.   ★ 衬底单次进样量：>10,000cm2

5.   ★ 二维晶体（例如石墨烯）覆盖率：>99%

6.   ★ 二维晶体（例如石墨烯）单层率：>90%

7.   ★ 二维晶体（例如石墨烯）单晶尺寸：>10 x10cm

8.   ★ 10x10cm大单晶产量：>1000片/月

9.   设备分为生长腔、进样腔、出样腔

10.  生长腔内尺寸：≥Φ200mm×1200mm；

11.  进样腔内尺寸：≥Φ220mm×1100mm；

12.  出样腔内尺寸：≥Φ220mm×1100mm；

13.  ★进样腔出样腔腔体材质均为316不锈钢

14.  生长腔配备5路气体

15.  进样腔出样腔各配备3路气体

16.  流量计精度：流量小于最大量程35%时，控制精度<0.35%;流量大于最大量程35%时，控制精度<1%

17.  气压范围：1Pa – 1.5大气压

18.  各腔体均配备电子真空计和机械压力表

19.  真空计精度：0.1Pa

20.  各腔体均配备自动与机械双重泄压安全阀

21.  ★ 生长腔可连续运行，进出样品无需降至600℃以下，保证连续生长

22.  样品传送杆耐高温：>1100摄氏度

23.  传送杆行程：≥6m

24.  腔体间配备自动闸板阀

25.  闸板阀配备防障碍物安全防护监控

26.  进出样腔及连接法兰配备水冷保护装置

27.  进出样品平滑无振动（需配备相应的进出样辅助工具）

28.  生长腔运动相关密封件带反馈信号

29.  生长腔的整个生产过程达到全自动化

30.  设备根据不同故障，具有相应的安全处理机制

31.  计算机具有生产控制功能、用户管理功能、数据存储功能、数据查询功能

32.  总功耗<40kW

二、商务要求

★1.完工期：合同签订后10周内交货安装调试完成。

★2.付款方式：

1）合同签订并提交货物清单表后15个工作日内支付20%货款；

2）设备交货经采购人验收合格，并平稳运行2个月后，一次性向中标人支付中标价的80%尾款。

★3. 如果设备达不到上述技术参数要求，中标人需赔付采购人的损失，并终止合同。

4. 质保要求：整机保修一年

5. 售后服务：能够提供国内售后服务，要求提供5×8小时电话技术支持；接到采购人电话咨询的1工作小时内，作出响应，并随时与客户联系，并在两个工作日内提供解决方案,五个工作日内解决问题，如果采购人需要，可派遣技术支持工程师到现场指导、配合工作。

六、采用单一来源采购方式的原因及相关说明：

1、松山湖材料实验室于2018年10月09日第一次公开招标大尺寸单晶CVD生长系统，到项目投标截止时间止只有沃根瑞特科技（北京）有限公司参与投标，由于实质性响应招标文件的投标人不足3家，根据《中华人民共和国政府采购法》第三十六条规定,实质性响应招标文件要求的供应商不足3家,本次公开招标失败。2、由于本项目时间紧任务紧迫，只有沃根瑞特科技（北京）有限公司响应大尺寸单晶CVD生长系统的招标文件内容。基于以上考虑，根据《政府采购法》第三十一条符合下列情形之一的货物或者服务，可以依照本法采用单一来源方式采购：（一）只能从唯一供应商处采购的。本项目拟采用单一来源采购方式，现根据相关法律法规的要求，进行单一来源采购征求意见公示。

七、拟定的唯一供应商名称、地址：

沃根瑞特科技（北京）有限公司、地址：北京市海淀区马甸东路19号26层3006

八、专家论证意见：

（一）各专家对相关供应商因专利、专有技术等原因具有唯一性的具体论证意见，专家的姓名、工作单位和职称：

论证委员会一致认为招标文件不存在倾向性、歧视性条款，推荐沃根瑞特科技（北京）有限公司作为大尺寸单晶CVD生长系统的唯一供应商。专家1：程小华，工作单位：华南理工大学，职称：教授；专家2：蔡小云，工作单位：上海阿尔法广州分公司，职称：高工。

（二）专家小组综合意见：

论证委员会一致认为招标文件不存在倾向性、歧视性条款，推荐沃根瑞特科技（北京）有限公司作为大尺寸单晶CVD生长系统的唯一供应商。

九、本公示期限（不得少于5个工作日）自2018 年 11 月 14 日 至 2018 年 11 月 21 日 止。

十、联系事项

发布人：东莞市粤隆招标有限公司